nanochip 2007-06-28 16:24
暑期北京微纳米加工技术讲习班
[color=DarkGreen][color=Indigo][size=3]中科院物理所主办的 方便且有兴趣的可以去听听[/size][/color][/color]
[img]http://www.iphy.ac.cn/Chinese/JSB/SS/EN/images/jxban.jpg[/img]
:hand[url=http://www.iphy.ac.cn/Chinese/JSB/SS/CHN/index.html]:website[/url]
[color=DarkGreen][b][font=Verdana]授课内容[/font][/b][/color]
[color=DarkGreen]微纳米加工技术综述[/color]
[b]薄膜技术[/b]
[color=DarkGreen]薄膜材料与沉积技术,薄膜的特性与测试,薄膜应用中的特殊问题。[/color]
[b]光学曝光技术[/b]
[color=DarkGreen]光学曝光原理,光刻胶特性与工艺过程,移相掩模技术与其他光学曝光分辨率增强技术,厚胶(包括SU-8胶)曝光技术,灰度曝光技术,光学曝光的计算机模拟技术。[/color]
[b]电子束曝光技术[/b]
[color=DarkGreen]电子束曝光原理,电子束曝光系统,电子抗蚀剂工艺,电子束曝光图形设计,电子束曝光的邻近效应及其校正,电子束曝光的计算机模拟。[/color]
[b]聚焦离子束加工技术[/b]
[color=DarkGreen]液态金属离子源与聚焦离子束系统,离子溅射与沉积加工原理,聚焦离子束加工技术的应用,离子束曝光与注入技术。[/color]
[b]X-射线曝光技术[/b]
[color=DarkGreen]X-射线曝光原理与系统,超微细结构的X-射线曝光技术,超深结构的X-射线曝光技术(LIGA技术)[/color]
[b]扫描探针加工技术[/b]
[color=DarkGreen]利用扫描隧道显微镜与原子力显微探针进行纳米加工的原理与工艺[/color]
[b]刻蚀技术[/b]
[color=DarkGreen]化学湿法刻蚀技术,反应离子刻蚀技术,反应离子深刻蚀技术,激光微加工技术,其他干法刻蚀技术[/color]
[b]复制技术[/b]
[color=DarkGreen]纳米压印技术,微注塑与微模压技术,激光微加工与三维微成型技术,其他纳米印制技术[/color]
[b]材料组装技术[/b]
[color=DarkGreen]晶片键合技术,三维微结构组装技术,分子有序自组装技术简介[/color]
[b]微纳米加工技术的应用[/b]
[color=DarkGreen]介绍的应用领域包括:超大规模集成电路制造,纳米电子器件,光电子器件,高密度磁存储器件,微电子机械系统(MEMS),生物芯片技术,纳米技术[/color]
[[i] 本帖最后由 vanaxu 于 2007-06-28 16:31 编辑 [/i]]
zhangdelin0000 2007-06-29 08:25
很好的,不过没有时间啊,很想去听听,呵呵!!!