xman 2007-12-31 18:57
中国科学院力学研究所FEI Sirion 400 NC扫描电镜
中国科学院力学研究所FEI Sirion 400 NC扫描电镜
主要性能指标：
（1）分辨率：1.5 nm（>10 kV），2.5 nm（1 kV），3.5 nm（500V）；（2）加速电压：200V—30 kV；（3）电子枪：高稳定性In-house Schottky场发射电子枪；（4）最大电子束流：22 nA。
仪器附件：
（1）Oxford INCA能谱仪：Si（Li）探测器；（2）超ATW窗口，10mm2 活区，分辨率（MnKa）：133 eV，分析元素：Be4—U92。