AFM在表面粗度上的量测与优势
[size=5]AFM在表面粗度上的量测与优势[/size]
[b]主要内容包括[/b]
一、表面粗度（Surface roughness）的定义
二、量测表面粗度的仪器及其原理简介
三、AFM的工作原理
四、AFM所具备的优势
五、结论
比较了SP、NOP、AFM在表面粗度的量测上之优劣后，可以发现量测的准确性与仪器的分辨率有很大的关系。不同的分辨率使得垂直的参数─R p、P-V、R p和空间参数─β*也跟着改变。以仪器的分辨率而言NOP<SP<AFM，这也是为什么R p、P-V、R p等参数在AFM中最大而β*最小的原因。由于AFM有较好的分辨率，因此其测出的表面形貌较接近真实表面。
选择何种仪器端看实际需要，分辨率好的仪器当然可以帮助我们得到较准确的表面粗度值，但准确度若不是很严格的要求，选用简单且价格便宜的仪器做分析，未尝不是个好途径。
由于AFM有约0.1A的垂直分辨率，因此是检验硅芯片在清洁、蚀刻前后表面变化情形，以及镀膜平整性的最佳工具之一，并且也很适合与SEM搭配成为从mm至A尺度的表面分析仪器，因此在目前IC产业日渐受到重视，也因为它具有原子尺度的分辨率，因此在未来奈米级的材料研究领域中预测可成为强有力的分析工具之一。